[发明专利]一种自适应光斑轮廓调控及测量系统有效
| 申请号： | 201210242404.2 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN102778209A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 周建英;李丽;谢向生 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明;林伟斌 |
| 地址： | 510275 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自适应光斑轮廓调控及测量系统，包括光学系统（1）、扫描探测系统（2）、反馈控制系统（3）；光学系统依次包括激光器（10），空间滤波器（11）、透镜（12）、第一空间光调制器（13）、偏振调控装置（14）和聚焦物镜（15）；激光器（10）出射激光，空间滤波器（11）用于滤掉激光的杂散光和高阶光斑影响，透镜（12）对激光进行扩束，第一个空间光调制器（13）控制激光的空间相位分布，偏振调控装置（14）用于控制激光的偏振分布；反馈控制系统（3）对测量光斑大小进行比较进而对第一空间光调制器（13）及偏振调控装置（14）加以反馈控制。本发明实现对突破衍射极限光场的表征，同时引入自适应技术，结合刀边法测量来寻找光场经调制后突破衍射极限的聚焦尺度最小的光斑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自适应 光斑 轮廓 调控 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种自适应光斑轮廓调控及测量系统，包括光学系统（1）、扫描探测系统（2）、反馈控制系统（3）；光学系统依次包括激光器（10），空间滤波器（11）、透镜（12）、第一空间光调制器（13）、偏振调控装置（14）和聚焦物镜（15）；激光器（10）出射激光，空间滤波器（11）用于滤掉激光的杂散光和高阶光斑影响，透镜（12）对激光进行扩束，第一个空间光调制器（13）控制激光的空间相位分布，偏振调控装置（14）用于控制激光的偏振分布；反馈控制系统（3）对测量光斑大小进行比较进而对第一空间光调制器（13）及偏振调控装置（14）加以反馈控制。
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