[发明专利]用于制造半导体封装的方法有效
申请号: | 201210242485.6 | 申请日: | 2012-07-12 |
公开(公告)号: | CN102881605A | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 保罗·加尼泽尔;马丁·斯坦丁 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/768 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明提供了一种用于制造半导体封装的方法,该方法包括提供衬底,衬底具有相对的第一和第二表面并在预定位置处具有从第一表面通过其至第二表面形成的一个以上通孔;提供至少一个第一芯片,第一芯片具有第一和第二相对的表面并在至少一个第一芯片的第一表面上具有一个以上第一接触端;放置至少一个第一芯片,使其第一表面在衬底的第一表面上且在其间一个以上通孔的外部涂覆粘合剂,使得一个以上通孔与一个以上第一接触端对准,由此形成具有对应相对的第一和第二表面的芯片组件;为芯片组件的第一表面配置导电镀层材料的第一镀层以电接触一个以上第一接触端,其中第一镀层的镀层材料延伸进通孔中以通过其电接触一个以上第一接触端。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 半导体 封装 方法 | ||
【主权项】:
一种用于制造半导体封装的方法,该方法包括:提供衬底,所述衬底具有相对的第一表面和第二表面,且在预定位置处具有从所述第一表面通过其至所述第二表面而形成的一个或多个通孔;提供至少一个第一芯片,所述第一芯片具有第一和第二相对的表面,并在所述至少一个第一芯片的所述第一表面上具有一个或多个第一接触端;放置所述至少一个第一芯片,使其所述第一表面在所述衬底的所述第一表面上,且在其间所述一个或多个通孔的外部涂覆有粘合剂,使得所述一个或多个通孔与所述一个或多个第一接触端对准,由此形成具有对应的相对的第一表面和第二表面的芯片组件;为所述芯片组件的所述第一表面配置导电镀层材料的第一镀层,以电接触所述一个或多个第一接触端,其中,所述第一镀层的镀层材料延伸进所述通孔中,以通过其来电接触所述一个或多个第一接触端。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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