[发明专利]一种基于计算全息的非球面绝对检测方法

摘要

一种基于计算全息的非球面绝对检测方法，包括干涉仪、标准镜头、CGH1、CGH2、被测非球面镜和参考球面镜；首先用CGH1检测被测非球面镜的面形，检测结果包括系统误差、CGH1的误差和被测非球面镜的误差；再用CGH2检测被测非球面镜的面形，检测结果包括系统误差、CGH2的误差和被测非球面镜的误差；然后用CGH1和CGH2同时作用，检测参考球面镜的面形，检测结果包括系统误差、CGH1的误差、CGH2的误差、参考球面镜的误差；其中，系统误差和参考球面镜的误差可以提前进行标定，故通过这三次检测，可以分别求出CGH1和CGH2的误差，然后就可以得到被测非球面的绝对检测结果；该方法设计巧妙，结构简单，为非球面的绝对检测提供了一种有效的方法，具有较大的工程应用价值。

主权项

1.一种基于计算全息的非球面绝对检测方法，其特征在于：所述方法采用的器件包括：干涉仪（1）、标准镜头（2）、CGH₁（3）、CGH₂（4）、被测非球面镜（5）和参考球面镜（6），具体实现步骤如下：第一步，将CGH₁（3）放在干涉仪（1）的焦前位置，利用CGH₁（3）对被测非球面镜（5）进行检测，测量结果W₁包括系统误差W_s、CGH₁的误差和被测非球面镜的误差W_Aspheric，W1=Ws+WCGH1+WAspheric---(1)]]>第二步，将CGH₂（4）放在干涉仪的焦后位置，利用CGH₂（4）对被测非球面镜（5）进行检测，测量结果W₂包括系统误差W_s、CGH₂的误差和被测非球面镜的误差W_Aspheric，即W2=Ws+WCGH2+WAspheric---(2)]]>第三步，将CGH₁（3）放在干涉仪的焦前位置，同时将CGH₂（4）放在干涉仪的焦后位置，利用CGH₁（3）和CGH₂（4）对参考球面镜（6）进行检测，测量结果W₃包括系统误差、CGH₁的误差CGH₂的误差和参考球面镜的误差W_Sphere，W3=Ws+WCGH1+WCGH2+WSphere---(3)]]>第四步，在以上三个式子中，系统误差W_s和参考球面镜的误差W_Sphere是能够提前进行标定的，属于已知量，由式（1）-式（2），得到W1-W2=WCGH1-WCGH2---(4)]]>由式（3）变换得W3-Ws-WSphere=WCGH1+WCGH2---(5)]]>通过式（4）和（5），分别求出CGH₁的误差和CGH₂的误差第五步，将已经求出的代入式（1）或将代入式（2），求出被测非球面镜（5）的误差W_Aspheric，即为该非球面的绝对检测结果。