[发明专利]基于椭球反射照明共焦测量装置

摘要

基于椭球反射照明共焦测量装置属于光学显微技术；在激光器直射光路上依次配置准直扩束器、大数值孔径聚焦物镜、针孔、三维微位移载物台、聚焦物镜、探测针孔和探测器，在激光器直射光路上、位于聚焦物镜与探测针孔之间部位处配置椭球反射镜，所述的椭球反射镜的远焦点位于针孔上，近焦点位于放置在三维微位移载物台上的样品表面上；本装置克服了传统共焦测量技术轴向分辨力受物镜数值孔径限制的不足，可以实现大数值孔径的照明，从而大幅度提高了系统的横向分辨力及轴向分辨力。

主权项

一种基于椭球反射照明共焦测量装置，包括激光器(1)及依次配置在激光器(1)直射光路上的准直扩束器(2)、大数值孔径聚焦物镜(3)、针孔(4)、三维微位移载物台(5)、聚焦物镜(7)、探测针孔(8)和探测器(9)；其特征在于，在激光器(1)直射光路上、位于聚焦物镜(7)与探测针孔(8)之间配置椭球反射镜(6)，所述的椭球反射镜(6)的远焦点位于针孔(4)位置，近焦点位于放置在三维微位移载物台(5)上的样品表面位置。