[发明专利]相位共轭反射双通照明共焦显微装置

摘要

相位共轭反射双通照明共焦显微装置属于光学显微测量技术；在激光器直射光路上依次配置准直扩束器和分光镜，聚焦物镜和三维微位移载物台配置在分光镜反射光路上，收集物镜配置在分光镜透射光路上，传导光纤将收集物镜会聚光传导到光电探测器，在分光镜反射光路上还配置椭球反射镜，所述的椭球反射镜的近焦点位于放置在三维微位移载物台上的样品表面上，在椭球反射镜远焦点位置处配置相位共轭反射镜；本装置利用相位共轭反射镜反射光线作为入射光线的相位共轭光波沿原路返回的特点，配合椭球反射镜具有一对等晕成像共轭焦点的特点，对大曲率凸表面进行双通照明，使装置具有大曲率凸表面测量能力和高轴向分辨力的特性。

主权项

一种相位共轭反射双通照明共焦显微装置，包括：激光器(1)、准直扩束器(2)、分光镜(3)、聚焦物镜(4)、三维微位移载物台(5)、收集物镜(8)、传导光纤(9)、光电探测器(10)；其中在激光器(1)直射光路上依次配置准直扩束器(2)和分光镜(3)，聚焦物镜(4)和三维微位移载物台(5)配置在分光镜(3)反射光路上，收集物镜(8)配置在分光镜(3)透射光路上，传导光纤(9)将收集物镜(8)会聚光传导到光电探测器(10)，其特征在于在分光镜(3)反射光路上还配置椭球反射镜(6)，所述的椭球反射镜(6)的近焦点位于放置在三维微位移载物台(5)上样品表面上，在椭球反射镜(6)远焦点处配置相位共轭反射镜(7)。