[发明专利]等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置无效
申请号: | 201210245646.7 | 申请日: | 2012-07-17 |
公开(公告)号: | CN102769989A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 刘彦明;贺铮光;李小平;谢楷;邵明绪 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人: | 王品华;朱红星 |
地址: | 710071*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置。主要解决目前等离子产生系统内置冷却电极不可更换、电极接口处放电不稳定的问题。整个装置主要包括金属螺杆(1)、锁紧顶盖(2)、绝缘底座(3)和绝缘挡板(4),金属螺杆(1)上部连接锁紧顶盖(2),下部连接绝缘底座(3),本装置通过螺纹连接和嵌入式的连接方式,实现内置冷却电极的快速拆装,绝缘挡板(4)套在绝缘底座(3)上部,通过绝缘挡板(4)防止电极接口部分与等离子腔体发生弧光放电。本发明方便等离子体产生装置内置冷却电极的更换,同时防止电极接口部分发生弧光放电,可用于等离子产生系统内置冷却电极与等离子腔体的绝缘和密封。 | ||
搜索关键词: | 等离子体 放电 体内 冷却 电极 绝缘 密封 装置 | ||
【主权项】:
一种等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置,其特征在于:包括金属螺杆(1)和绝缘挡板(4);金属螺杆(1)内开有两个并行的通孔(9)和(10),上部连接有锁紧顶盖(2),下部连接有绝缘底座(3);锁紧顶盖(2)下端嵌入绝缘底座(3)上端;绝缘挡板(4)套在绝缘底座(3)上部,绝缘底座(3)固定在等离子放电腔体上。
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