[发明专利]一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置

摘要

本发明是一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置，采用适用于接近接触式光刻对准的反射式光路系统，该装置包括对准照明系统、半反半透镜、掩模板、掩模光栅标记、硅片光栅标记、硅片、位移工件台、条纹接收系统和计算机，对准照明系统将对准平行光以45°角入射到半反半透镜上，半反半透镜将对准平行光反射到掩模板上的光栅标记发生衍射，衍射光继续传播入射到硅片上的光栅标记发生衍射，从而使掩模光栅标记与硅片光栅标记叠加，反射光继续传播通过半反半透镜，条纹成像系统接收对准条纹图像，图像经过计算机分析处理获取掩模板硅片的位移关系，并实时反馈给位移工件台实现x、y两个方向的对准。

主权项

一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置，其特征在于：该装置采用适用于接近接触式光刻对准的反射式光路系统，该装置包括对准照明系统、半反半透镜、掩模板、掩模光栅标记、硅片光栅标记、硅片、位移工件台、条纹接收系统和计算机；对准照明系统输出对准平行光；半反半透镜的反射面与对准照明系统的输出面呈45°放置，半反半透镜接收对准平行光，并输出对准反射光；掩模板的上表面与半反半透镜反射面呈45°角放置，掩模板接收半反半透镜的对准反射光，并将对准反射光在掩模光栅标记上发生衍射生成并输出第一衍射光；硅片与掩模板相互平行放置，硅片接收第一衍射光，并在硅片上的光栅标记继续发生衍射生成并输出第二衍射光，从而使掩模光栅标记与硅片光栅标记叠加生成衍射后的反射光；半反半透镜的反射面接收并继续传播的衍射后反射光，半反半透镜的透射面输出衍射后的透射光；条纹成像系统与半反半透镜的透射面呈45°角放置，用于接收衍射后的透射光，将衍射后的透射光生成并输出对准条纹图像；计算机与条纹成像系统连接，计算机对准条纹图像做分析处理，获取掩模板与硅片的位移关系，并实时反馈给位移工件台实现x、y两个方向的对准。