[发明专利]感光性组成物、成形物的制造方法、成形物及半导体装置

摘要

本发明提供一种保存稳定性、UV硬化性优异，且可形成具有耐热性的成形物的感光性树脂组成物、成形物的制造方法、成形物及半导体装置。一种成形物的制造方法，其包含如下步骤：于第1板(1)及第2板(4)的任一方上涂布感光性组成物的步骤，对第1板(1)与第2板(4)进行按压的步骤，于按压所述板的状态下进行曝光的步骤，使第1板(1)与第2板(4)分离的步骤，对感光性组成物涂膜(3)进行加热的步骤，所述感光性组成物包含(a)特定的硫醚化合物，(b)光聚合引发剂、及(c)于1分子内具有1个～6个(甲基)丙烯酰基的化合物。

主权项

1.一种成形物的制造方法，其包含如下步骤：于第1板及第2板的至少任一方上涂布感光性组成物，形成感光性组成物涂膜的步骤；介隔所述感光性组成物涂膜而对所述第1板与所述第2板进行按压的步骤；于介隔所述感光性组成物涂膜而按压所述第1板与所述第2板的状态下，对所述感光性组成物涂膜进行曝光的步骤；将所述第1板与所述第2板分离的步骤；以及对曝光后的所述感光性组成物涂膜进行加热的步骤；所述第1板及所述第2板的至少任一方于其表面具有包含凹部及凸部、或者凹部、凸部及平坦的图案，于对所述第1板与所述第2板进行按压的步骤中，所述感光性组成物涂膜追随所述图案，其特征在于：所述感光性组成物包含(a)下述通式(1)所表示的硫醚化合物、[化1]于上述通式(1)中，R¹及R²分别独立为碳数为1～20的有机基、(b)光聚合引发剂，其中氧化膦化合物及α-胺烷基苯酮化合物除外、及(c)于1分子内具有1个～6个(甲基)丙烯酰基的化合物。