[发明专利]一种石英坩埚生产工艺无效
申请号: | 201210246125.3 | 申请日: | 2012-07-17 |
公开(公告)号: | CN103539336A | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 陈宝昌;刘福鸿;刘爱军;冯涛 | 申请(专利权)人: | 江苏华尔光电材料股份有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 225600 江苏省扬州市高邮市经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种石英坩埚生产工艺,包括以下步骤:将原料石英砂倒入石墨模具进行熔制,且该熔制的整个过程均保持抽真空状态,在熔制初期真空度保持在0.1MPa以上直到熔制成型,熔制成型的后期仍然保持抽真空状态,该真空度为0.001~0.1MPa。本发明具有以下优点:可以大幅度延长坩埚使用寿命,在有效控制坩埚透明层质量的同时,减少气泡层的气泡数量、直径及气泡内压力,可以增加坩埚的强度,减少高温熔化现象。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 坩埚 生产工艺 | ||
【主权项】:
一种石英坩埚生产工艺,其特征在于包括以下步骤:将原料石英砂倒入石墨模具进行熔制,且该熔制的整个过程均保持抽真空状态,在熔制初期真空度保持在0.1MPa以上直到熔制成型,熔制成型的后期仍然保持抽真空状态,该真空度为0.001~0.1MPa。
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