[发明专利]正型光致抗蚀剂剥离剂组合物无效
| 申请号： | 201210246206.3 | 申请日： | 2012-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN102998915A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张峰 | 申请（专利权）人： | 张峰 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C07D295/185;C07D211/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315171 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种正型光致抗蚀剂剥离剂组合物，它包括：a)1-20重量份的N，N-二乙基羟胺；b)1-70重量份的二甘醇单烷基醚；c)1-5重量份的[式1]所示的化合物；d)1-5重量份的[式2]所示的化合物；[式1]，其中R’为氢，或具有1至4个碳原子的烷基，[式2]。本发明正型光致抗蚀剂剥离剂组合物不腐蚀基板、且能有效地除去光致抗蚀剂膜，因此具有很强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 正型光致抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1.一种正型光致抗蚀剂剥离剂组合物，其特征在于包括：a)1-20重量份的N，N-二乙基羟基胺；b)1-70重量份的二甘醇单烷基醚；c)1-5重量份的[式1]所示的化合物；d)1-5重量份的[式2]所示的化合物；![]()
[式1]，其中R’为氢，或具有1至4个碳原子的烷基，![]()
[式2]。
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