[发明专利]一种用于大面积摩擦诱导微/纳米加工的多针尖阵列的制作方法有效
| 申请号： | 201210246472.6 | 申请日： | 2012-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN102786028A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 钱林茂;陈磊;吴治江;余丙军;周仲荣 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 成都博通专利事务所 51208 | 代理人： | 陈树明 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种用于大面积摩擦诱导微/纳米加工的多针尖阵列的制作方法，其步骤为：(a)用显微硬度仪的压头对蜡片基底表面进行压痕，加工出压痕阵列；(b)将微球置于各个压痕上；(c)采用平整光滑的压片覆盖在微球上，对压片施加载荷使各个微球同时压入蜡片中，形成微球阵列；(d)将浇注框压在蜡片基底上，并使浇注框框住微球阵列；(e)往浇注框内浇注镶嵌料溶液，使其淹没微球阵列；(f)待镶嵌料溶液凝固后，加热熔化去除蜡片，再将镶嵌料从浇注框内中取出，并将其无微球的背面抛光为平面，即得。该方法操作简单，原材料便宜，不需进行任何喷胶、氧化、光刻、各向异性腐蚀等复杂特殊处理，具有明显的低成本、高效率的方法特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 大面积 摩擦 诱导 纳米 加工 针尖 阵列 制作方法 | ||
【主权项】：
一种用于大面积摩擦诱导微/纳米加工的多针尖阵列的制作方法，其步骤为：(a)将蜡片基底置于显微硬度仪的的工作台上，使显微硬度仪的压头对蜡片基底表面进行压痕，加工出压痕阵列；(b)将大小一样的微球逐个置于压痕阵列的各个压痕上；(c)采用平整光滑的压片覆盖在蜡片基底的微球上，对压片施加载荷使各个微球同时压入蜡片中，压入深度为微球半径的0.7‑1.0倍，且各个微球的压入深度一致，在蜡片基底上形成微球阵列；(d)将浇注框压在蜡片基底上，并使浇注框框住微球阵列；(e)往浇注框内浇注镶嵌料溶液，使其淹没微球阵列；(f)待镶嵌料溶液凝固后，加热熔化去除蜡片，再将镶嵌料从浇注框内中取出，并将其无微球的背面抛光为平面，即得到用于大面积摩擦诱导微/纳米加工的多针尖阵列。
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