[发明专利]高频讯号路径调整方式及其测试装置

摘要

本发明涉及一种高频讯号路径调整方式及其测试装置，测试装置具有一电路板、一探针组以及一路径调整器，电路板布设多个传输线，探针组设有多个探针，路径调整器设有多个相同长度的第一导线，任一该第一导线可置换为其他长度的一第二导线，各该导线的两端分别与该电路板的传输线及该探针组的探针电连接，上述高频讯号从一该传输线传经该第一导线至一该探针与从另一该传输线传经该第二导线至另一该探针具有相同的传输时序。使本发明可弥补高频测试装置的模块工程所产生的制程误差，有效提升晶圆测试工程的高频传输带宽。

主权项

一种高频讯号路径调整方式，能使高频讯号同步输入并输出一测试装置，其特征在于包括有以下步骤：a.备制多个导线，并记录不同长度的各所述导线；b.使多个高频讯号同步输入所述测试装置的一电路板，并传经所述测试装置的一路径调整器后至一探针组输出，各所述高频讯号在所述路径调整器中分别传经多个第一导线，所述第一导线为各所述导线的其中的一个；c.监测各所述高频讯号在所述探针组输出的时序，将相异时序的二所述高频讯号与高频讯号传经步骤a的各所述导线的时序比对，各所述导线中具有一第二导线与所述第一导线之间对应传输高频讯号的时序差最为接近前述二所述高频讯号的时序差；d.将步骤c中具有相异时序的二所述高频讯号的其中之一所传经的所述第一导线取代为所述第二导线。