[发明专利]一种单码道绝对式光栅尺辊压印模具制造方法

摘要

本发明公开一种单码道绝对式光栅尺辊压印模具制造方法，包括以下步骤：加工螺旋形的单码道绝对式光栅尺辊压印模具基体；进行光刻胶的涂铺；旋转曝光，整条螺旋线带上栅线的曝光通过以单码道绝对式光栅的编码来控制精密旋转分度台的转角、掩膜版运动和紫外光源的开闭来完成；显影、湿法刻蚀，以形成单码道绝对式光栅尺栅线结构，完成辊压印模具的制造。本方法利用螺旋线带在模具基体上的多圈绕制，能够在有限直径的圆柱基体上制造定制化长度的单码道绝对式光栅尺栅线图形。结合辊压印复型工艺，本发明所制备的单码道绝对式光栅尺辊压印模具能够米级超长单码道绝对式光栅尺的高效、低成本、批量化制造。

主权项

一种单码道绝对式光栅尺辊压印模具制造方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)辊压印模具基体加工：在圆柱形模具上加工出螺旋线带；(2)辊压印模具光刻胶涂铺：使用提拉法在辊压印模具基体上涂铺一层光刻胶；(3)辊压印模具装载并调心：将辊压印模具装载于精密旋转分度台上，使用三爪卡盘和千分表将辊压印模具基体与旋转分度台的旋转轴线保持同轴；(4)掩膜版与紫外光源安装、定位：将掩膜版与紫外光源安装于X‑Y位移台上，使掩膜版与辊压印模具基体之间保持一安全距离，使其在水平方向对应于螺旋线带的起始位置；(5)旋转曝光：通过以单码道绝对式光栅编码来控制精密旋转分度台的转角、掩膜版运动和紫外光源的开/关，完成整条螺旋线带上栅线的曝光；(6)显影：使用显影液对曝光完成的辊压印模具进行显影；(7)栅线制造：以光刻胶为掩蔽，在模具基体材料进行湿法刻蚀以形成单码道绝对式光栅尺栅线，完成辊压印模具的制造。