[发明专利]单码道绝对式光栅尺辊压印制造方法

摘要

本发明公开一种单码道绝对式光栅尺辊压印制造方法，使用螺旋形辊压印模具，通过辊压印工艺对光栅尺胚表面的金属材料层进行压印复型；所述螺旋形辊压印模具的外形为升角为θ的螺旋线带，单码道绝对式光栅栅线通过旋转光刻和湿法刻蚀制作在螺旋线带之上；将光栅尺胚平置于辊压印模具与支撑辊之间，在辊压印模具压印力的作用下，光栅尺胚上的金属材料层发生塑性变形，向辊压印模具螺旋线带上的光栅栅线凹槽中填充，从而在光栅尺胚上形成单码道绝对式光栅尺栅线。本方法利用螺旋线带在圆柱辊模具基体上的多圈绕制，能够以辊压印方法制造定制化长度的单码道绝对式光栅尺，相对于传统的绝对式光栅尺制造方式，具有批量、快速、低成本的技术优势。

主权项

一种单码道绝对式光栅尺辊压印制造方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)辊压印模具加工：在圆柱形模具基体上加工出螺旋线带；(2)辊压印模具上母光栅线纹加工：通过旋转光刻及湿法刻蚀工艺，在辊压印模具的螺旋线带上加工母光栅的光栅线纹；(3)光栅尺胚制造：在光栅尺胚基材上沉积一层金属薄膜作为光栅压印材料层；(4)绝对式光栅辊压印：将光栅尺胚放在辊压印模具与支撑辊之间呈θ角放置，并施加压印力，辊压印模具进行旋转，光栅尺胚随辊压印模具的定心旋转，始终定位于辊压印模具的螺旋线带下方，在压力的作用下，在光栅尺胚的表面的光栅压印材料层压印复型出单码道绝对光栅尺栅线；θ角为螺旋线带的螺旋升角。