[发明专利]一种基板的导通工艺方法有效
申请号: | 201210247916.8 | 申请日: | 2012-07-17 |
公开(公告)号: | CN103429011A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 魏石龙;萧胜利;何键宏;林源强;郭振胜 | 申请(专利权)人: | 光颉科技股份有限公司 |
主分类号: | H05K3/42 | 分类号: | H05K3/42 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;鲍俊萍 |
地址: | 中国台湾新竹县湖*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种基板的导通工艺方法,该方法首先提供具有第一及第二表面的绝缘基板,并于该绝缘基板的第二表面上形成绝缘胶膜,接着,形成贯穿该绝缘基板及绝缘胶膜的通孔,并于该绝缘胶膜上形成覆盖该通孔的导电箔片,最后,于该导电箔片及该第二表面上形成遮蔽材料,并借由该导电箔片于该通孔中进行电化学沉积,以于该通孔中填满导电材质。本发明的基板的导通工艺方法,可避免在通孔的导电材质中产生孔隙,并可有效降低金属线路层的热阻,提高其面积利用率。 | ||
搜索关键词: | 一种 工艺 方法 | ||
【主权项】:
一种基板的导通工艺方法,其特征在于,包括:提供一具有一第一表面及相对的一第二表面的绝缘基板,并于该绝缘基板的该第二表面上形成一绝缘胶膜;形成一贯穿该绝缘基板及该绝缘胶膜的通孔,并于该绝缘胶膜上形成一覆盖该通孔的导电箔片;以及于该导电箔片及该第二表面上形成一遮蔽材料,并借由该导电箔片于该通孔中进行电化学沉积,以于该通孔中朝该第一表面的方向填满一导电材质。
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