[发明专利]一种ZnO同质pn结及其制备方法有效
| 申请号： | 201210248191.4 | 申请日： | 2012-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN102751318A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 苏海林;梁金坤;吴玉程;黄荣俊 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | H01L29/22 | 分类号： | H01L29/22;H01L21/36 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ZnO同质pn结及其制备方法，其中ZnO同质pn结是由p型Sb掺杂ZnO纳米棒阵列与n型Al掺杂ZnO薄膜组成。所述p型Sb掺杂ZnO纳米棒中Sb的掺杂浓度为0.9-8.3at.%，所述n型Al掺杂ZnO薄膜中Al的掺杂浓度为3at.%。本发明采用离子束溅射结合电化学沉积的方法制备ZnO同质pn结，这是首次采用电化学沉积技术制备Sb掺杂ZnO纳米棒并将其作为ZnO同质结的p区，丰富了ZnO同质结的组成结构，简化了ZnO同质结的制备方法，大幅降低了制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 zno 同质 pn 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种ZnO同质pn结，其特征在于：由p型Sb掺杂ZnO纳米棒阵列与n型Al掺杂ZnO薄膜组成。
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