[发明专利]用于具有适合相移分析的强度调制元件的探头的条纹投影系统有效
申请号: | 201210249195.4 | 申请日: | 2012-05-04 |
公开(公告)号: | CN102778198B | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | C·A·本达尔;T·A·基勒克 | 申请(专利权)人: | 通用电气公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/25;G02B27/48 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 叶晓勇,朱海煜 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明名称为“用于具有适合相移分析的强度调制元件的探头的条纹投影系统”。公开了一种强度调制元件,用于具有多个光发射器的探头以进行相移分析和测量。该强度调制元件包括由两个相向图案形成的多个光栅元件的多个列。 | ||
搜索关键词: | 用于 具有 适合 相移 分析 强度 调制 元件 探头 条纹 投影 系统 | ||
【主权项】:
一种光学探头,包括:插入管;多个光发射器,平行于所述插入管的远端而设置,其中所述多个光发射器沿着垂直于所述光发射器的轴间隔开;至少一个强度调制元件,包括具有光栅周期的多个光栅元件的多个列,其中所述多个光栅元件的所述多个列平行于所述多个光发射器,并且其中来自所述多个光发射器的光经过所述至少一个强度调制元件以投影多个条纹集到表面上,所述多个条纹集中的每个包括当所述多个光发射器的至少一个的一个光发射器组在发射时投影的结构化光图案;成像器,用于获得所述表面的至少一个图像;处理单元,配置成对所述至少一个图像执行相移分析;检查光传递系统,从检查光源传递光至表面;其中,在检查模式期间所述检查光传递系统从所述插入管远端输出光;其中,从所述检查光传递系统输出的光的强度在测量模式期间自动降低;以及其中,当所述多个条纹集的至少一个投影到所述表面时,探头在测量模式中操作;其中,所述多个光栅元件包括至少一个垂直于所述光栅的列的方向而延伸的周期性图案。
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