[发明专利]一种基于MEMS技术的太赫兹焦平面阵列在审
| 申请号： | 201210250324.1 | 申请日： | 2012-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103575403A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 于晓梅;文永正;董理 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS技术的太赫兹焦平面阵列的设计，属于太赫兹探测和微电子机械系统技术领域。本发明提供的太赫兹焦平面阵列由多个双材料微悬臂梁像元组成，当被动/主动太赫兹波通过太赫兹物镜聚焦到太赫兹焦平面阵列时，通过设计在双材料微悬臂梁像元表面的太赫兹吸收结构将吸收的能量转换成热能，双材料效应使微悬臂梁像元发生弯曲，光学检测系统读出多个微悬臂梁像元的形变量和分布，最终通过数据图像处理模块以光强图像的方式将被测物体的太赫兹场显示出来。本发明提供的太赫兹焦平面阵列工作在非制冷环境下，用于进行太赫兹成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 赫兹 平面 阵列 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS技术的太赫兹焦平面阵列，其特征在于：所述太赫兹焦平面阵列由多个微悬臂梁像元和支撑多个微悬臂梁像元的衬底组成，所述多个微悬臂梁像元的结构完全相同。
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