[发明专利]抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀图案的方法

摘要

本发明公开了抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，酸生成剂，和具有由式(IA)表示的阴离子的盐，其中R¹、A¹、A¹³、X¹²、A¹⁴、R^1A和R^2A如说明书中限定。

主权项

1.一种抗蚀剂组合物，所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，酸生成剂，和具有由式(IA)表示的阴离子的盐，其中R¹表示氢原子或甲基；A¹表示C₁至C₆烷二基；A¹³表示任选具有一个或多个卤素原子的C₁至C₁₈二价脂族烃基；X¹²表示*-CO-O-或*-O-CO-；*表示与A¹³的连接；A¹⁴表示任选具有一个或多个卤素原子的C₁至C₁₇脂族烃基；其中R^1A和R^2A独立地表示氢原子、C₁至C₁₂脂族烃基、C₃至C₂₀脂环族烃基、C₆至C₂₀芳香族烃基或C₇至C₂₁芳烷基，在所述脂族烃基、所述脂环族烃基、所述芳香族烃基和所述芳烷基中所含有的一个或多个氢原子可以被羟基、氰基、氟原子、三氟甲基或硝基代替，在所述脂族烃基中所含有的一个或多个-CH₂-可以被-O-或-CO-代替；或R^1A和R^2A可以连接以形成至少一个含有氮原子的C₄至C₂₀环。