[发明专利]太阳能电池片选择性刻蚀装置及方法有效
| 申请号： | 201210253217.4 | 申请日： | 2012-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN102751185A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 祁宏山;肖新民;丁志强;卫志敏 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/308 | 分类号： | H01L21/308 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 213031 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种太阳能电池片选择性刻蚀装置及方法，所述刻蚀装置包括：传输辊；设置在所述传输辊上方的涂布辊，所述涂布辊的表面包覆有吸液层，并且所述涂布辊与传输辊之间的间距小于太阳能电池片的厚度；其中，所述传输辊旋转对所述太阳能电池片进行传输，所述吸液层受挤压后将吸附的刻蚀液涂布至所述太阳能电池片的上表面。本发明与现有工艺兼容性良好，并且能够解决溶液消耗量大、喷洒均匀性要求高、设备维护成本高等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 选择性 刻蚀 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池片选择性刻蚀装置，其特征在于，包括：传输辊；设置在所述传输辊上方的涂布辊，所述涂布辊的表面包覆有吸液层，并且所述涂布辊与传输辊之间的间距小于太阳能电池片的厚度；其中，所述传输辊旋转对所述太阳能电池片进行传输，所述吸液层受挤压后将吸附的刻蚀液涂布至所述太阳能电池片的上表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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