[发明专利]用于研磨硬脆性材料基板的边侧部分的方法

摘要

本发明提供一种用于研磨硬脆性材料基板的边侧部分的方法。与压缩空气一起向基板的边侧部分喷射弹性磨料，该弹性磨料具有分散在弹性基底材料中或者粘附于弹性基底材料的磨料颗粒。该弹性磨料沿喷射方向以加工点为中心的预定加工区域喷射，该喷射方向与该加工点处的横向线相交，并且相对于接触线形成从2°至60°的范围中选择的预定倾斜角。而且，使喷嘴和工件相对于彼此移动，使得该加工区域沿该工件的周向以固定速度移动，并且使得在移动之后在每一个加工点处保持该喷射方向。如果要加工多个堆叠的基板，则以固定速度沿基板的横向方向移动该加工区域。

主权项

一种用于研磨硬脆性材料基板的边侧部分的方法，其中，与压缩气体一起从喷嘴朝向由一个或多个硬脆性材料基板形成的工件的边侧部分喷射弹性磨料，从而使所述弹性磨料碰撞所述边侧部分，借此研磨该工件的该边侧部分，所述弹性磨料由分散在弹性基底材料中的磨料颗粒制成或者由粘附至弹性基底材料的表面的磨料颗粒制成，所述方法包括以下步骤：将所述工件的所述边侧部分上的一个点设置为加工点，并且假定所述工件的一横向线延伸通过所述加工点，并假定一接触线与所述横向线正交地延伸并且在所述加工点处与所述硬脆性材料基板的所述边侧部分相接触；沿喷射方向朝以所述加工点为中心的预定加工区域喷射所述弹性磨料，所述喷射方向在所述加工点处与所述横向线相交，并且相对于所述接触线形成从2°至60°的范围中选择的预定倾斜角；以及使所述喷嘴和所述工件相对于彼此移动，使得所述加工区域沿所述工件的周向以固定速度移动，并且使得在移动之后的每一个加工点处保持所述喷射方向。