[发明专利]发光元件的转移方法以及发光元件阵列有效
申请号: | 201210258044.5 | 申请日: | 2012-07-24 |
公开(公告)号: | CN102903804A | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 叶文勇;赵嘉信;吴明宪;戴光佑 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L27/15 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种发光元件的转移方法,其包括:在第一衬底上形成多个阵列排列的发光元件,各发光元件包括元件层以及牺牲图案,且牺牲图案位于元件层与第一衬底之间;在第一衬底上形成保护层以选择性地覆盖部分的发光元件,其中部分的发光元件未被保护层所覆盖;令未被保护层所覆盖的元件层与第二衬底接合;以及移除未被保护层所覆盖的牺牲图案,以使部分的元件层与第一衬底分离而转移至第二衬底上。 | ||
搜索关键词: | 发光 元件 转移 方法 以及 阵列 | ||
【主权项】:
一种发光元件的转移方法,包括:在第一衬底上形成多个阵列排列的发光元件,各发光元件包括元件层以及牺牲图案,且该牺牲图案位于该元件层与该第一衬底之间;在该第一衬底上形成保护层以选择性地覆盖部分的发光元件,其中部分的发光元件未被该保护层所覆盖;令未被该保护层所覆盖的元件层与第二衬底接合;以及移除未被该保护层所覆盖的牺牲图案,以使部分的元件层与该第一衬底分离而转移至该第二衬底上。
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