[发明专利]共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置有效
| 申请号： | 201210263270.2 | 申请日： | 2012-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN103575229A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 沈华;朱日宏;陈磊;何勇;王青;荣四海;李建欣 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱显国 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置，包括菲索干涉仪、标准平晶、自由曲面梯度补偿模块和待测自由曲面，自由曲面梯度补偿模块的主光轴与干涉测试装置主光轴重合，菲索干涉仪的发出的平行光束经过标准平晶后分成两束光，一束光从标准平晶表面反射回菲索干涉仪形成参考光，另一束光进入自由曲面梯度补偿模块，并从自由曲面梯度补偿模块出射，形成不同倾斜角度的测试光束入射到待测自由曲面，经过待测自由曲面反射回到自由曲面梯度补偿模块，最终从自由曲面梯度补偿模块出射，返回菲索干涉仪形成测试光。本装置同时实现了局部梯度较大的光学自由曲面的高精度测量和测试装置的可移植性模块化。 | ||
| 搜索关键词： | 共光路型 多重 倾斜 补偿 零位 干涉 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置，包括菲索干涉仪（1）、标准平晶（2）和待测自由曲面（3），标准平晶（2）位于菲索干涉仪（1）和待测自由曲面（3）之间，其特征在于：标准平晶（2）和待测自由曲面（3）之间还插入了自由曲面梯度补偿模块（10），自由曲面梯度补偿模块（10）的主光轴与菲索干涉仪（1）、标准平晶（2）和待测自由曲面（3）构成的主光轴重合，菲索干涉仪（1）、标准平晶（2）、自由曲面梯度补偿模块（10）和待测自由曲面（3）构成干涉测量装置的主光轴，菲索干涉仪（1）发出的平行光束经过标准平晶（2）后分成两束光，一束光从标准平晶（2）表面反射回菲索干涉仪（1）形成参考光，另一束光进入自由曲面梯度补偿模块（10），并从自由曲面梯度补偿模块（10）出射，形成不同倾斜角度的测试光束入射到待测自由曲面（3），经过待测自由曲面（3）反射回到自由曲面梯度补偿模块（10），最终从自由曲面梯度补偿模块（10）出射，返回菲索干涉仪（1）形成测试光。
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