[发明专利]一种集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构及其制造方法无效
| 申请号： | 201210263877.0 | 申请日： | 2012-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102745642A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 秦毅恒;欧文;张昕 | 申请（专利权）人： | 江苏物联网研究发展中心 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构及其制造方法，属于MEMS封装的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构，包括薄膜封帽及位于所述薄膜封帽下方的承载衬底；所述薄膜封帽与承载衬底间设有用于容纳MEMS结构的腔体，所述腔体中收纳有MEMS结构，所述MEMS结构与薄膜封帽或承载衬底相连；所述薄膜封帽包括位于内侧的吸气剂层及位于外侧的最终密封层，薄膜封帽通过其中的吸气剂层及最终密封层与承载衬底相连，并通过吸气剂层与承载衬底间形成腔体内壁；最终密封层位于吸气剂层外侧，并将MEMS结构密封于腔体内。本发明结构简单且新颖，能提升薄膜密封的MEMS器件的性能，适应范围广，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 吸气 mems 薄膜 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构，包括薄膜封帽及位于所述薄膜封帽下方的承载衬底（1）；其特征是：所述薄膜封帽与承载衬底（1）间设有用于容纳MEMS结构（2）的腔体（9），所述腔体（9）中收纳有MEMS结构（2），所述MEMS结构（2）与薄膜封帽或承载衬底（1）相连；所述薄膜封帽包括位于内侧的吸气剂层（5）及位于外侧的最终密封层，薄膜封帽通过薄膜封帽中的吸气剂层（5）及最终密封层与承载衬底（1）相连，并通过吸气剂层（5）与承载衬底（1）间形成腔体（9）内壁；最终密封层位于吸气剂层（5）外侧，并将MEMS结构（2）密封于腔体（9）内。
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