[发明专利]烘箱控制MEMS振荡器装置无效
| 申请号： | 201210263937.9 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102811022A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | S·唐奈;M·佩尔蒂斯;X·罗滕伯格;J·波瑞曼斯;H·提尔曼斯;G·范德普拉丝 | 申请（专利权）人： | IMEC公司 |
| 主分类号： | H03B5/04 | 分类号： | H03B5/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张欣 |
| 地址： | 比利*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 公开了烘箱控制MEMS振荡器装置。根据本发明的一种系统，包括烘箱和烘箱之内的微机械振荡器，该微机械振荡器配置成在预定温度以预定频率进行振荡，其中预定频率是基于温度依赖以及至少一个预定属性的。系统进一步包括：激励机构，其配置成激励微机械振荡器来以预定频率振荡；以及温度控制环路，其配置成利用电阻感测来检测微机械振荡器的温度，基于温度依赖和该至少一个预定属性来确定微机械振荡器的温度是否在预定温度的预定范围内，以便最小化频率漂移，并且适配所述微机械振荡器的温度以保持在预定范围内。该系统进一步包括频率输出，其配置成输出该微机械振荡器的预定频率。 | ||
| 搜索关键词： | 烘箱 控制 mems 振荡器 装置 | ||
【主权项】：
一种系统，包括：烘箱；微机械振荡器，其位于所述烘箱中且配置成在预定温度下以预定频率振荡，其中所述预定频率至少部分基于温度依赖以及至少一个预定属性；激励机构，其配置成激励所述微机械振荡器来以所述预定频率进行振荡；温度控制环路，其配置成：利用电阻感测来检测所述微机械振荡器的温度；确定所述微机械振荡器的温度是否在预定温度的预定范围之内，其中所述预定范围至少部分基于温度依赖和所述至少一个预定属性，以最小化频率漂移；以及适配所述微机械振荡器的温度以保持在所述预定范围之内；频率输出，其配置成输出所述微机械振荡器的预定频率。
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