[发明专利]扫描探针显微镜进针装置及方法无效
| 申请号： | 201210265549.4 | 申请日： | 2012-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102788888A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 陈代谢;殷伯华;韩立;林云生;初明璋;高莹莹 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01Q10/00 | 分类号： | G01Q10/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种扫描探针显微镜进针装置，其步进电机（8）以垂直于水平面方向固定在扫描探针显微镜进针装置的底座，步进电机（8）连接压电陶瓷扫描器（7）；压电陶瓷扫描器（7）上设置样品台（11）；探针（2）针尖朝下，位于样品台（11）的正上方；探针（2）的上方安装有激光光源（9）；光电传感器（10）位于探针的斜上方，接收探针（2）所反射的光斑的位置信号，并将光斑位置信号转换为电压信号送入控制器（4），通过控制器（4）控制步进电机（8）带动样品向探针（2）逼近。本发明还包括双通道反射式光纤位移传感器，通过双通道反射式光纤位移传感器检测探针与样品表面距离，在控制器的控制下，提高粗进针速度，结合细进针控制，实现快速进针。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 进针 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种扫描探针显微镜进针装置，其特征在于，所述的进针装置包括控制器（4）、步进电机（8）、压电陶瓷扫描器（7）、激光光源（9）、光电传感器（10）、探针（2）和双通道反射式光纤位移传感器（1）；所述控制器（4）与步进电机（8）、压电陶瓷扫描器（7）、激光光源（9）、光电传感器（10）和双通道反射式光纤位移传感器（1）中的激光器（15）、接收器（16）电连接；所述步进电机（8）以垂直于水平面方向固定在扫描探针显微镜进针装置的底座，步进电机（8）连接压电陶瓷扫描器（7）；压电陶瓷扫描器（7）上设置样品台（11）；探针（2）针尖朝下，位于样品台（11）的正上方；探针（2）的上方安装有激光光源（9）；光电传感器（10）位于探针斜上方，接收探针（2）所反射的光斑的位置信号，并将光斑位置信号转换为电压信号送入控制器（4），控制器（4）通过光斑位置信号控制进针过程并判断进针是否完成。
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