[发明专利]光干涉式气体传感器

摘要

本发明提供了一种光干涉式气体传感器，包括：光源、聚光镜、背面镀有全反射膜的平面镜、具有标准气室和采样气室的气室、折光棱镜和光接收器件。气室呈等腰梯形，该等腰梯形的两侧分别设置平面透镜；该气室由与等腰梯形底边平行的分割壁分隔成标准气室和采样气室，标准气室连接到标准进气口；采样气室，连接到采样进气口。本发明只需更换具有不同底角γ的梯形气室，即可测量不同浓度范围的气体浓度。

主权项

一种光干涉式气体传感器，包括：光源、聚光镜、背面镀有全反射膜的平面镜、具有标准气室和采样气室的气室、折光棱镜和光接收器件；由所述光源发出的光线经所述聚光镜会聚后入射到所述背面镀有全反射膜的平面镜，分成具有光程差的两束光p、q；该两束光p、q穿过所述标准气室，分别经所述折光棱镜折光后回到所述采样气室，最后在所述背面镀有全反射膜的平面镜处重新会合成一束光，在光接收器件处产生干涉条纹；其中，所述气室呈等腰梯形，该等腰梯形的两侧分别设置平面透镜；该气室由与所述等腰梯形底边平行的分割壁分隔成标准气室和采样气室，其中标准气室连接到标准进气口，采样气室连接到采样进气口。