[发明专利]一种气体激光器放电腔的电极机构有效
申请号: | 201210266544.3 | 申请日: | 2012-07-30 |
公开(公告)号: | CN102761047A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 陈进新;王宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院 |
主分类号: | H01S3/038 | 分类号: | H01S3/038 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100094*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种电极机构,用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极,该电极机构包括传动机构和安装在该传动机构上的多个电极,该传动机构用于使该多个电极的每一个移动到所述电极工作位置。该电极机构还可包括位于所述电极工作位置的下方的调节机构,用于调节处于电极工作位置的电极在垂直方向的位置和倾斜角度。所述传动机构可为履带式结构,其包括主动轮、从动轮和围绕主动轮和从动轮的履带,所述多个电极安装于所述履带上。本发明能实现电极在多个自由度的运动,达到不打开放电腔就能调整电极的位置和角度的效果,确保气体激光器的放电腔具有优良的放电性能,延长放电腔的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 气体 激光器 放电 电极 机构 | ||
【主权项】:
一种电极机构,用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极,其特征在于,该电极机构包括传动机构(1)和安装在该传动机构(1)上的多个电极(3),该传动机构(1)用于使该多个电极(3)的每一个移动到所述电极工作位置。
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