[发明专利]一种硅片切割产生废砂浆在线回收方法

摘要

本发明公开了一种硅片切割产生废砂浆纯物理在线回收方法，该回收方法包括：添加切割液并进行第一次离心沉降、第一滤饼添加切割液并进行第二次离心沉降、第二滤饼里添加切割液并进行第三次离心沉降、添加过滤助剂、进行管式膜过滤、真空蒸馏与混合，本发明的方法减少了污染排放；本发明的方法降低了回收成本，本发明的方法是可以做到不使用水的纯物理法；本发明的方法符合现今节能减排的环保理念。

主权项

一种硅片切割产生废砂浆在线回收方法，其特征是：该方法包括如下步骤：a、在废砂浆里添加切割液后搅拌均匀，形成第一混合砂浆，将第一混合砂浆的比重调配到1.33~1.6克/毫升，第一混合砂浆的比重调配好后加热到20~80℃，第一混合砂浆加热后输入到沉降离心机进行离心沉降处理，沉降离心机的转速控制在500~4800转/分钟，离心沉降后得到第一滤饼和第一悬浮液，该步骤所添加的切割液与废砂浆里所含切割液的成分相同；b、将步骤a得到的第一滤饼里添加切割液后搅拌均匀，形成第二混合砂浆，将第二混合砂浆的比重调配到1.33~1.7克/毫升，第二混合砂浆的比重调配好后加热到20~80℃，第一滤饼加热后输入到沉降离心机进行离心沉降处理，沉降离心机的转速控制在500~4800转/分钟，离心沉降后得到第二滤饼和第二悬浮液，该步骤所添加的切割液与废砂浆里所含切割液的成分相同；c、将步骤b得到的第二滤饼里添加切割液后搅拌均匀，形成第三混合砂浆，将第三混合砂浆的比重调配到1.33~1.7克/毫升，三混合砂浆的比重调配好后加热到20~80℃，第二滤饼加热后输入到沉降离心机进行离心沉降处理，沉降离心机的转速控制在500~4800转/分钟，离心沉降后得到第三滤饼和第三悬浮液，该步骤所添加的切割液与废砂浆里所含切割液的成分相同；d、将第一悬浮液、第二悬浮液和第三悬浮液混合在一起，得到混合悬浮液，在混合悬浮液内添加过滤助剂并搅拌均匀，搅拌均匀后将添加了过滤助剂的混合悬浮液加热至20~80℃；所述过滤助剂的重量为混合悬浮液重量的0.3%~1%，且过滤助剂为活性炭和硅藻土的混合物，活性炭和硅藻土的重量比为（0.5~3）:（0.5~3）；e、将步骤e加热后的混合悬浮液输入到管式膜进行过滤，滤膜孔径为0.05~2微米；f、将经过步骤e管式膜进行过滤后的悬浮液输入真空蒸馏装置进行蒸馏脱水，真空蒸馏温度控制在70~150℃，得到回用液；g、取步骤f得到的回用液和步骤c得到的第三滤饼混合搅拌均匀，得到回用砂浆，回用砂浆扣除步骤a、步骤b和步骤c所添加的切割液，计算得到能继续使用的合格砂浆。