[发明专利]一种非接触式扫描镜转角和转速测试系统

摘要

一种非接触式扫描镜转角和转速测试系统,属于光电检测技术领域中涉及的非接触式测试系统。要解决的技术问题：提供一种非接触式扫描镜转角和转速测试系统。解决的技术方案包括：半导体激光器、滤光片、阵列平面反射镜、CCD接收器件、检测系统基板、CCD处理电路、计算机、被检测扫描镜等。半导体激光器、滤光片、被检测的扫描镜、阵列平面反射镜和CCD接收器件都安装在检测系统基板上，阵列平面反射镜和被检测的扫描镜相对安装，阵列平面反射镜和CCD接收器件相对安装，四者的工作面水平中线在同一高度的平面上。该测试系统，精度高，测角范围大，避免了接触式测量的阻力矩干扰，提高了低速扫描镜转角和转速测量的准确度。

主权项

一种非接触式扫描镜转角和转速测试系统，包括：半导体激光器（11）、滤光片（14）、CCD接收器件（17）、CCD处理电路（20）、计算机（21）、扫描镜（22）、驱动电机（24）；其特征在于还包括：半导体激光器可调支座（12）、滤光片支架（13）、阵列平面反射镜（15）、阵列平面反射镜基座（16）、CCD接收器件基座（18）、检测系统基板（19）、被检测扫描镜转轴（23）；其中，阵列平面反射镜（15）包括：第一平面反射镜（25）、第二平面反射镜（26）、第三平面反射镜（27）、第四平面反射镜（28）和第五平面反射镜（29）；CCD处理电路（20）包括：CCD接收器件（17）、驱动模块（30）、视频处理器（31）、控制单元（32）、配置可编程只读存储器（33）、晶振（34）、差分芯片（35）、RS‑422串行通信接口（36）、电源（37）和二次电源模块（38）；被检测的扫描镜（22）安装在检测系统基板（19）上，使被检测扫描镜转轴（23)垂直于检测系统基板(19)，被检测扫描镜(22)能绕扫描镜转轴(23)转动，驱动电机(24)和扫描镜转轴(23)同轴固连；半导体激光器可调支座(12)安装在检测系统基板(19)上，半导体激光器(11)安装在可调基座(12)上，使半导体激光器(11)发射激光束的光轴平行于检测系统基板(19)的工作面，垂直入射到滤光片(14)上，激光束经过滤光片(14)指向被检测扫描镜(22)的反射面；滤光片(14)安装在滤光片支架(13)上，滤光片支架(13)安装在检测系统基板(19)上，滤光片(14)的工作面垂直于检测系统基板(19)；阵列平面反射镜(15)从右至左依次为第一平面反射镜(25)、第二平面反射镜(23)、第三平面反射镜(27)、第四平面反射镜(28）和第五平面反射镜（29），构成一字形排列的阵列，它们的后表面在同一平面上，安装在阵列平面反射镜基座（16）上，阵列平面反射镜（15）的工作反射面都为平面；阵列平面反射镜基座（16)安装在检测系统基板(19)上，使阵列平面反射镜(15)的反射面与被检测扫描镜(22)的反射面相对；CCD接收器件基座(18)安装在检测系统基板(19)上，CCD接收器件（17）安装在CCD接收器件基座（18)上，使CCD接收器件(17)的光敏面与阵列平面反射镜(15）的反射面相对安装；同时，要使半导体激光器（11）发射激光束的光轴、滤光片（14）工作平面的水平中线、被检 测扫描镜（22）的反射面水平中线、阵列平面反射镜（15)的反射面水平中线、CCD接收器件(17)的光敏面水平中线在同一高度的水平面上，在这个水平面上设有直角坐标系xoy面，xoy面与检测系统基板(19)是相互平行的；阵列平面反射镜(15)中的第一平面反射镜（25）、第二平面反射镜（26）、第三平面反射镜（27）、第四平面反射镜（28)和第五平面反射镜(29)的反射面在xoy面上的投影是同一个椭圆的一系列切线段，两两相接，五块平面反射镜通过阵列平面反射镜固定基座(16)固定在一起，被检测扫描镜转轴(23)的回转中心和CCD接收器件(17)的竖直中心线分别位于xoy面内与阵列平面反射镜相切椭圆的两个焦点F1、F2处；CCD处理电路(20)通过CCD接收器件(17)的接口和CCD接收器件(17)相连。