[发明专利]图案形成装置

摘要

本发明提供一种图案形成装置，在基板上涂敷涂敷液并形成规定的图案的图案形成技术中，该图案形成装置能够利用高的压力挤压出涂敷液，并能够恰当地进行喷出控制。喷嘴（31）的前端部呈楔形，在该前端上还具有进一步突出的突起部（310）。突起部（310）的下表面（310b）为与基板接近且相向的基板相向面，从该端部立起有逐渐远离基板（W）的喷出口配设面（310c）。在喷出口配设面（310c）中的与基板相向面（310b）相邻的位置上，设置有用于喷出涂敷液的喷出口（311）。喷出口（311）的周围及涂敷液供给路径（312）的周围壁面一体形成。

主权项

一种图案形成装置，其特征在于，具有：基板保持装置，其用于将基板保持为水平姿势，喷出头部，其与所述基板保持装置所保持的所述基板的表面相向配置，用于喷出包含用于形成图案的材料的涂敷液，移动装置，其通过使所述基板保持装置所保持的所述基板与所述喷出头部进行相对移动，来使所述喷出头部沿着所述基板的表面在规定的扫描移动方向上进行扫描移动；在所述喷出头部上设置有内部积存所述涂敷液的积液部、用于喷出所述涂敷液的喷出口、从所述积液部向所述喷出口供给所述涂敷液的涂敷液供给路径，在所述喷出头部的下部设置有喷出口配设面和与所述基板表面大致平行的基板相向面，其中，所述喷出口配设面在所述扫描移动方向上的所述基板相向面的后方侧端部与所述基板相向面相连接，而且离该后方侧端部越远则离所述基板表面越远；所述喷出口设置在所述喷出口配设面上的与所述基板相向面的后方侧端部相邻的位置上，所述涂敷液供给路径的侧壁面及所述喷出口一体形成为一个构件。