[发明专利]一种石墨发热体加热炉内碳素材料表面直接沉积SiC涂层的方法无效
| 申请号： | 201210268835.6 | 申请日： | 2012-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN103570378A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 陈照峰;刘勇 | 申请（专利权）人： | 苏州宏久航空防热材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/85 | 分类号： | C04B41/85 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种石墨发热体加热炉内碳素材料表面直接沉积SiC涂层的方法，包括以下步骤：(1)以石墨发热体加热炉体作为沉积炉，将其抽真空，真空度达到10-1Pa以下；(2)将石墨发热体加热炉内温度升高至1000～1200℃；(3)以氢气为载气，通过鼓泡法把三氯甲基硅烷带入石墨发热体加热炉腔内，载气流量根据炉体尺寸调节，流量为200～800ml/min，同时以氩气作为稀释气体，其流量为200～800ml/min，保持加热炉腔内压力为3×103～105Pa，沉积20～50小时，冷却后，碳素材料表面出现SiC涂层。本发明具有制备过程不需要专用化学气相沉积设备，制备SiC涂层质量好，涂层厚度大且灵活可控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 发热 加热炉 碳素 材料 表面 直接 沉积 sic 涂层 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨发热体加热炉内碳素材料表面直接沉积SiC涂层的方法，其特征包括下述顺序的步骤：(1)以石墨发热体加热炉体作为沉积炉，将其抽真空，真空度达到10‑1Pa以下；(2)将石墨发热体加热炉内温度升高至1000～1200℃，升温速率为8～12℃每分钟；(3)以氢气为载气，通过鼓泡法把三氯甲基硅烷带入石墨发热体加热炉腔内，载气流量根据炉体尺寸调节，流量为200～800ml/min，同时以氩气作为稀释气体，其流量为200～800ml/min，保持加热炉腔内压力为3×103～105Pa，沉积20～50小时，冷却后，碳素材料表面出现SiC涂层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州宏久航空防热材料科技有限公司，未经苏州宏久航空防热材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210268835.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
