[发明专利]钽靶材及钽靶材组件的制造方法有效
| 申请号： | 201210271505.2 | 申请日： | 2012-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN103572223A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;陈勇军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C22F1/18;C21D8/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种钽靶材及钽靶材组件的制造方法。钽靶材的制造方法包括：提供钽锭；对所述钽锭进行锻造，形成第一钽靶材坯料；对所述第一钽靶材坯料进行轧制，形成第二钽靶材坯料；对所述第二钽靶材坯料进行第一热处理，形成钽靶材，所述第一热处理分为三阶段，第一阶段热处理温度为550℃～750℃，保温时间为30分钟～90分钟；第二阶段热处理温度为750℃～950℃，保温时间为30分钟～90分钟；第三阶段热处理温度为950℃～1200℃，第三阶段热处理保温时间为30分钟～90分钟。采用本发明技术方案可以得到的钽靶材的晶向主要为(100)，而且在断面上晶向均匀，另外，还可以得到晶粒细小且内部组织均匀钽靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 钽靶材 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种钽靶材的制造方法，其特征在于，包括：提供钽锭；对所述钽锭进行锻造，形成第一钽靶材坯料；对所述第一钽靶材坯料进行轧制，形成第二钽靶材坯料；对所述第二钽靶材坯料进行第一热处理，形成钽靶材，所述第一热处理分为三阶段：第一阶段热处理温度为550℃～750℃，第一阶段热处理保温时间为30分钟～90分钟；第一阶段热处理保温结束后升温至第二阶段热处理温度，所述第二阶段热处理温度为750℃～950℃，第二阶段热处理保温时间为30分钟～90分钟；第二阶段热处理保温结束后升温至第三阶段热处理温度，所述第三阶段热处理温度为950℃～1200℃，第三阶段热处理保温时间为30分钟～90分钟。
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