[发明专利]用于垂直集成的背照式图像传感器的装置

摘要

一种背照式图像传感器包括光电二极管以及位于第一芯片中的第一晶体管，其中，第一晶体管电耦合至光电二极管。背照式图像传感器进一步包括在第二芯片中形成的第二晶体管以及在第三芯片中形成的多个逻辑电路，其中，第二芯片堆叠在第一芯片上并且第三芯片堆叠在第二芯片上。逻辑电路、第二晶体管和第一晶体管通过多个接合焊盘和通孔相互耦合。本发明还提供了用于垂直集成的背照式图像传感器的装置。

主权项

一种方法，包括：提供第一芯片，所述第一芯片包括光有源区和耦合至所述光有源区的图像传感器的第一晶体管；在所述第一芯片的第一侧上形成第一接合焊盘；提供第二芯片，所述第二芯片包括：所述图像传感器的第二晶体管；位于所述第二芯片的第一侧上的第二接合焊盘；位于所述第二芯片的第二侧上的输入/输出端子；以及耦合在所述输入/输出端子和所述第二接合焊盘之间的通孔；在所述第二芯片上堆叠所述第一芯片，其中，所述第一接合焊盘与所述第二接合焊盘对准；以及接合所述第一芯片和所述第二芯片，其中：所述第一芯片的第一侧上的所述第一接合焊盘电耦合至所述第二芯片的第一侧上的所述第二接合焊盘；以及所述图像传感器的所述第一晶体管电耦合至所述图像传感器的所述第二晶体管。