[发明专利]质量分析装置及质量分析方法有效
| 申请号： | 201210273399.1 | 申请日： | 2012-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102956433A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 熊野峻;杉山益之;桥本雄一郎;长谷川英树;山田益义;西村和茂;诸熊秀俊 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J49/24 | 分类号： | H01J49/24;H01J49/26;G01N27/68 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;曹鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种质量分析装置及质量分析方法。实现高效地对试样进行离子化并且残留少的质量分析装置。通过对保持样本的试样容器的内部进行减压，来使顶空气体中的样本密度上升，高效地对样本进行离子化。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 分析 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种质量分析装置，其特征在于，包括：封入试样的试样容器；离子化室，其与上述试样容器连接，并且具备取入存在于上述试样容器内的试样气体并使其离子化的离子源，该离子化室的压力为上述试样容器内压以下；真空室，其与上述离子化室连接，并且具有对离子化后的试样进行分析的质量分析部；以及对上述试样容器内进行减压的单元。
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