[发明专利]玻璃基板检查系统以及玻璃基板的制造方法有效
| 申请号： | 201210273742.2 | 申请日： | 2012-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102914551A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 土屋诚 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 冯雅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供检查效率优异的玻璃基板检查系统。一种玻璃基板检查系统(10)，具备将玻璃基板(20)从盒(30)中取出的取出装置(40)和对利用取出装置(40)从盒(30)中取出的玻璃基板(20)进行检查的检查装置(50)，盒(30)具有多个能够收纳玻璃基板(20)的收纳位置，其中，玻璃基板检查系统(10)具有在每个收纳位置使取出装置(40)进行从收纳位置取出玻璃基板(20)的动作的实行部(81)，和在每个收纳位置判定有无玻璃基板(20)的有无判定部(82)；对于由有无判定部(82)判定为无玻璃基板(20)的收纳位置，实行部(81)使取出装置(40)不进行取出动作。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 检查 系统 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板检查系统，具备将玻璃基板从盒中取出的取出装置和对利用所述取出装置从所述盒中取出的玻璃基板进行检查的检查装置，所述盒具有多个能够收纳玻璃基板的收纳位置，其特征在于，所述玻璃基板检查系统具有在每个所述收纳位置使所述取出装置进行从所述收纳位置取出所述玻璃基板的动作的实行部，和在每个所述收纳位置判定有无所述玻璃基板的有无判定部；对于由所述有无判定部判定为无所述玻璃基板的收纳位置，所述实行部使所述取出装置不进行取出动作。
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