[发明专利]盐、光致抗蚀剂组合物和用于生产光致抗蚀剂图案的方法

摘要

本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物和用于生产光致抗蚀剂图案的方法。所述盐由式(I)表示，其中：Q¹和Q²各自独立表示氟原子或C1-C6全氟烷基；L¹表示C1-C20三价脂肪族饱和烃基，其中与脂肪族饱和烃链部分的亚甲基结合的氢原子可以被氟原子或羟基代替并且其中亚甲基可以被氧原子、-NR²-或羰基代替，其中R²表示氢原子或C1-C6烷基，L¹-OH的羟基位于L¹的脂肪族饱和烃链部分；W表示C3-C36脂环烃基，其中亚甲基可以被氧原子、硫原子、羰基或磺酰基代替，并且其中氢原子可以被羟基、C1-C12烷基、C1-C12烷氧基、C3-C18脂环烃基或C6-C14芳香族烃基代替；和Z⁺表示有机阳离子。

主权项

1.一种由式(I)表示的盐：其中Q¹和Q²各自独立表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L¹表示C1-C20三价脂肪族饱和烃基，其中与脂肪族饱和烃链部分的亚甲基结合的氢原子可以被氟原子或羟基代替并且其中亚甲基可以被氧原子、-NR²-或羰基代替，其中R²表示氢原子或C1-C6烷基，L¹-OH的羟基位于L¹的脂肪族饱和烃链部分，W表示C3-C36脂环烃基，其中亚甲基可以被氧原子、硫原子、羰基或磺酰基代替，并且其中氢原子可以被羟基、C1-C12烷基、C1-C12烷氧基、C3-C18脂环烃基或C6-C14芳香族烃基代替，并且Z⁺表示有机阳离子。