[发明专利]薄膜图案形成装置、薄膜图案形成方法及装置的调整方法有效
| 申请号： | 201210275135.X | 申请日： | 2012-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN102909954A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 冈本裕司;矶圭二 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;B41J3/407;B41J29/38 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜图案形成装置、薄膜图案形成方法及装置的调整方法。当产生喷嘴孔堵塞等不良情况时，不得不停止运转中的装置并更换喷头。期望缩减装置的运转停止时间的技术。本发明的薄膜图案形成装置中，设置有多个吐出薄膜材料的液滴的喷嘴孔的喷嘴单元与保持于载物台的基板对置。移动机构相对于喷嘴单元向基板的面内方向移动基板。第1拍摄装置检测由涂布于基板的薄膜材料形成的薄膜图案。控制装置使薄膜材料的液滴从喷嘴单元向基板吐出，由附着于基板的薄膜材料形成检查图案。另外，通过获取并分析用第1拍摄装置拍摄的检查图案的图像数据来判定喷嘴单元的喷嘴孔是否良好。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 图案 形成 装置 方法 调整 | ||
【主权项】：
一种薄膜图案形成装置，其具有：载物台，保持基板；喷嘴单元，与所述基板对置且设置有多个向所述基板吐出薄膜材料的液滴的喷嘴孔；移动机构，相对于所述喷嘴单元，向该基板的面内方向移动所述基板；第1拍摄装置，检测由涂布于所述基板的薄膜材料形成的薄膜图案；及控制装置，所述控制装置使薄膜材料的液滴从所述喷嘴单元向所述基板吐出，由附着于所述基板的薄膜材料形成检查图案，获取用所述第1拍摄装置拍摄的所述检查图案的图像数据，通过分析所获取的图像数据来判定所述喷嘴单元的喷嘴孔是否良好。
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