[发明专利]一种数据校准方法及装置

摘要

本发明实施例公开了一种数据校准方法及装置，所述方法包括：获取设定值数组；依次将所述设定值数组中的设定值经所述DA转换器转换后输入到所述质量流量控制器MFC；依次获取经所述AD转化器转换的所述质量流量控制器MFC的输出值，以组成输出值数组；根据所述设定值数组和所述输出值数组，获取所述标准气配气仪的输入输出数据偏差特征；根据所述输入输出数据偏差特征对进出所述标准气配气仪的数据进行校正。本发明只涉及两组数组和一次函数拟合计算，处理后误差内容仅仅是一次计算误差，大大优于现有技术中误差为两次计算误差与闭环误差之和的情况，从而可以获得更准确的结果。此外本发明实施例也降低了校准的负责程度，简化了校准过程。

主权项

一种数据校准方法，用于标准气配气仪，所述标准气配气仪包含依次相连的DA转换器、质量流量控制器MFC和AD转换器，其特征在于，所述方法包括：获取设定值数组，所述设定值数组包含多个用于输入的设定值；依次将所述设定值数组中的设定值经所述DA转换器转换后输入到所述质量流量控制器MFC；依次获取经所述AD转化器转换的所述质量流量控制器MFC的输出值，以组成输出值数组，所述输出值数组中的输出值与所述设定值数组中的设定值一一对应；根据所述设定值数组和所述输出值数组，获取所述标准气配气仪的输入输出数据偏差特征；根据所述输入输出数据偏差特征对进出所述标准气配气仪的数据进行校正。