[发明专利]芯片在线清洗设备

摘要

本发明公开了一种芯片在线清洗设备，包括自动送料机构、浸泡式清洗装置、喷淋式清洗装置、定位台。所述浸泡式清洗装置包括浸洗柜和风切机构，浸洗柜内的设置进料传送带、出料传送带，进料传送带与出料传送带之间设置盛装有浸洗液的浸洗池，浸洗池内并排设置对应进料传送带的第一输料架、对应出料传送带的第二输料架；所述第一输料架包括同步垂直向下运动的两对输料带，两对输料带之间的下部位置设置滑动于第一输料架与第二输料架之间的滑板，第一输料架与第二输料架之间的上部位置设置对应出料传送带将芯片拨动到出料传送带的料机构。本发明可实现对芯片长时间的浸泡洗和短时间的喷淋洗，有效去除芯片表面的大颗粒污染物以及微量污染。

主权项

芯片在线清洗设备，其特征在于：包括若干台后端设置有风切机构(C)的浸泡式清洗装置，所述浸泡式清洗装置包括封闭的浸洗柜(B)，浸洗柜(B)内的一侧设置衔接自动送料机构(A)的一对托住芯片(F)两侧边水平运动的进料传送带(1)，浸洗柜(B)内的另一侧设置与风切机构(C)连接的一对水平运动的出料传送带(2)，所述进料传送带(1)与出料传送带(2)之间设置盛装有浸洗液的浸洗池(3)，所述浸洗池(3)内并排设置对应进料传送带(1)的第一输料架(4)、对应出料传送带(2)的第二输料架(5)；所述第一输料架(4)包括由机械动力控制的衔接于进料传送带(1)后端分别托住芯片(F)的一个侧边同步垂直向下运动的两对输料带(107)，两对输料带(107)之间的下部位置设置带有芯片检测装置的由丝杠滑块机构控制滑动于第一输料架(4)与第二输料架(5)之间的滑板(108)，所述第二输料架(5)包括与第一输料架(1)结构相同的两对同步垂直向上运动的输料带(107)，第一输料架(4)与第二输料架(5)之间的上部位置设置对应出料传送带(2)将芯片(F)拨动到出料传送带(2)的拨料机构。