[发明专利]泡生法蓝宝石引晶形态控制方法有效

专利信息
申请号: 201210279358.3 申请日: 2012-08-08
公开(公告)号: CN102758251A 公开(公告)日: 2012-10-31
发明(设计)人: 贾宝申;张向锋 申请(专利权)人: 无锡鼎晶光电科技有限公司
主分类号: C30B17/00 分类号: C30B17/00;C30B29/20
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所 32104 代理人: 曹祖良
地址: 214145 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种泡生法蓝宝石引晶形态控制方法,其包括如下步骤:a.将氧化铝原料装入单晶炉坩埚内,在籽晶杆上安装籽晶,启动真空系统及加热系统,调节加热系统的电压,以使得氧化铝原料全部融化并达到熔体表面对流稳定状态,并使得液面冷心与坩埚几何中心偏离小于20mm;b.缓慢调节籽晶位置,使得籽晶逐渐接近熔体液面,同时调节加热系统的工作电压,以避免籽晶熔融;c.在籽晶的下端部与上述熔体液面2~5mm处预热30min;d.利用传统提拉工艺,旋转籽晶,调节加热系统的工作电压,控制结晶端部的直径小于50mm,并使得结晶端部覆盖冷心后开始放肩。本发能够较好地控制结晶端部的形态;操作方便,提高引晶成功率及成品率。
搜索关键词: 泡生法 蓝宝石 晶形 控制 方法
【主权项】:
一种泡生法蓝宝石引晶形态控制方法,其特征是,所述蓝宝石引晶形态控制方法包括如下步骤:(a)、将氧化铝原料装入单晶炉坩埚内,在籽晶杆上安装籽晶,启动真空系统及加热系统,调节加热系统的电压,以使得氧化铝原料全部融化并达到熔体表面对流稳定状态,并使得液面冷心与坩埚几何中心偏离小于20mm;(b)、缓慢调节籽晶位置,使得籽晶逐渐接近熔体液面,同时调节加热系统的工作电压,以避免籽晶熔融;(c)、在籽晶的下端部与上述熔体液面2~5mm处预热30min~60min;(d)、利用传统提拉工艺,旋转籽晶,调节加热系统的工作电压,控制结晶端部的直径小于50mm,并使得结晶端部覆盖冷心后开始放肩。
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