[发明专利]泡生法蓝宝石引晶形态控制方法有效
申请号: | 201210279358.3 | 申请日: | 2012-08-08 |
公开(公告)号: | CN102758251A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 贾宝申;张向锋 | 申请(专利权)人: | 无锡鼎晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214145 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种泡生法蓝宝石引晶形态控制方法,其包括如下步骤:a.将氧化铝原料装入单晶炉坩埚内,在籽晶杆上安装籽晶,启动真空系统及加热系统,调节加热系统的电压,以使得氧化铝原料全部融化并达到熔体表面对流稳定状态,并使得液面冷心与坩埚几何中心偏离小于20mm;b.缓慢调节籽晶位置,使得籽晶逐渐接近熔体液面,同时调节加热系统的工作电压,以避免籽晶熔融;c.在籽晶的下端部与上述熔体液面2~5mm处预热30min;d.利用传统提拉工艺,旋转籽晶,调节加热系统的工作电压,控制结晶端部的直径小于50mm,并使得结晶端部覆盖冷心后开始放肩。本发能够较好地控制结晶端部的形态;操作方便,提高引晶成功率及成品率。 | ||
搜索关键词: | 泡生法 蓝宝石 晶形 控制 方法 | ||
【主权项】:
一种泡生法蓝宝石引晶形态控制方法,其特征是,所述蓝宝石引晶形态控制方法包括如下步骤:(a)、将氧化铝原料装入单晶炉坩埚内,在籽晶杆上安装籽晶,启动真空系统及加热系统,调节加热系统的电压,以使得氧化铝原料全部融化并达到熔体表面对流稳定状态,并使得液面冷心与坩埚几何中心偏离小于20mm;(b)、缓慢调节籽晶位置,使得籽晶逐渐接近熔体液面,同时调节加热系统的工作电压,以避免籽晶熔融;(c)、在籽晶的下端部与上述熔体液面2~5mm处预热30min~60min;(d)、利用传统提拉工艺,旋转籽晶,调节加热系统的工作电压,控制结晶端部的直径小于50mm,并使得结晶端部覆盖冷心后开始放肩。
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