[发明专利]W型光纤束及使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统有效
| 申请号： | 201210281679.7 | 申请日： | 2012-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103575392A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 李国光;刘涛;吴文镜;赵江艳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28;G02B6/26;G02B6/04 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种W型光纤束，包括：第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤；所述第I子光纤与所述第II子光纤共用输入端口；所述第III子光纤和所述第IV子光纤共用输出端口；所述第II子光纤的输出端口和所述第III子光纤的输入端口捆绑连接，形成输入输出端口；所述第I子光纤和第Ⅳ子光纤的另一端分别连接一光纤端口；所述第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤构成W型光纤束。还公开一种使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统。本发明能减少系统光源和光谱计的数量，提高测量精度的同时达到降低系统成本的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 使用 半导体 薄膜 光学 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种W型光纤束，其特征在于，包括：第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤；所述第I子光纤与所述第II子光纤共用输入端口；所述第III子光纤和所述第IV子光纤共用输出端口；所述第II子光纤的输出端口和所述第III子光纤的输入端口捆绑连接，形成输入输出端口；所述第I子光纤和第Ⅳ子光纤的另一端分别连接一光纤端口；所述第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤构成W型光纤束。
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