[发明专利]共参比电极温控式CO2-SOx 集成气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种共参比电极温控式CO2-SOx集成气体传感器及其制备方法，所述传感器自下而上分别为氧化铝基底，加热元件与测温元件，绝缘层，固体电解质薄膜层，Au齿状薄膜电极，CO2、SOx反应电极和共参比电极。制备方法包括：在Al2O3基底上的采用印刷烧结工艺制备Pt或RuO2加热和测温元件；在厚膜微加热元件结构上，通过沉积工艺得到固体电解质薄膜、Au齿状电极、CO2反应电极和SOx反应电极、公共参比电极，以电化学反应方式形成薄厚膜工艺结合的CO2-SOx气敏元件。通过测温元件的反馈组成闭环温度控制系统，使传感器的温度达到各反应电极工作所需的温度，并保持恒定，保证了CO2-SOx气体传感器的最佳工作性能。

主权项

一种共参比电极温控式CO2‑SOx集成气体传感器，其特征在于，自下而上分别为氧化铝基底，Pt或RuO2制成的加热元件与测温元件，绝缘层，固体电解质薄膜层，至少三个Au齿状薄膜电极，其中一侧Au齿状薄膜电极上设置CO2反应电极，另一侧Au齿状薄膜电极上设置SOx反应电极，中间的Au齿状薄膜电极上设置共参比电极。