[发明专利]带电粒子显微成像方法

摘要

本发明涉及带电粒子显微成像方法。利用带电粒子显微镜法研究样本的方法包括：在多个测量会话中利用带电粒子射束辐照样本表面，每个测量会话都具有不同的射束参数值；在每个测量会话期间检测样本的受激辐射，将被测量与其相关联并为每个测量会话记下被测量的值，从而允许汇集数据对{Pn，Mn}的数据集合，其中，通过如下步骤自动处理该数据集合：定义点扩展函数，对于n的每个值，其具有核值Kn；定义空间变量，其表示样本的作为其体积内的位置的函数的物理性质；定义成像量，对于n的每个值，其具有值Qn=Kn*V；对于n的每个值，确定minD(Mn║Kn*V)，其中在对值Kn施加约束的同时求解V。

主权项

一种利用带电粒子显微镜法研究样本的方法，包括以下步骤：‑ 在多个（N）测量会话中利用带电粒子的探测射束辐照样本表面，每个测量会话都具有相关联的射束参数（P）值，所述相关联的射束参数（P）值是从一定范围的这种值中选择的并且在多个测量会话之间是不同的；‑ 在每个测量会话期间检测样本发射的受激辐射，将被测量（M）与其相关联并为每个测量会话记下该被测量的值，从而允许汇集数据对{Pn，Mn}的数据集合（S），其中n是范围1≤n≤N中的整数，其特征在于，采用数学技术以包括如下步骤的方式自动处理所述数据集合（S）：‑ 定义点扩展函数（K），对于n的每个值，所述点扩展函数具有核值Kn，所述核值Kn表示针对射束参数值Pn探测射束在所述样本的体积内的行为；‑ 定义空间变量（V），所述空间变量表示所述样本的作为其体积内的位置的函数的物理性质（O）；‑ 定义成像量（Q），对于n的每个值，所述成像量具有值Qn，所述值Qn是Kn和V的三维卷积，使得Qn = Kn * V；‑ 对于n的每个值，通过计算确定Mn和Qn之间的最小偏差min D (Mn║Kn * V)其中在对值Kn施加约束的同时求解V。