[发明专利]提供深度分辨图像的带电粒子显微镜

摘要

本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种使用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：-将样本安装在样本保持器上；-使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生交互作用，该交互作用导致从样本发出发射辐射；-使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，该方法包括如下步骤：-将所述检测器装置的输出On记录作为所述发射辐射的出射角θn的函数，从而针对θn的多个值汇集测量结果集合M={（On,θn）}，其中所述出射角θn是相对于与S正交的轴测得的；-使用计算机处理设备对测量结果集合M自动去卷积并将其空间分解成结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V表示在以表面S为参考的相关联的离散深度水平Lk处的值Vk,由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V表示样本的作为在其体积内的位置的函数的物理性质。

主权项

一种使用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：‑ 将样本安装在样本保持器上；‑ 使用粒子‑光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生交互作用，该交互作用导致从样本发出发射辐射；‑ 使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于如下步骤：‑ 将所述检测器装置的输出On记录作为所述发射辐射的出射角θn的函数，从而针对θn的多个值汇集测量结果集合M={（On,θn）}，其中所述出射角θn是相对于与S正交的轴测得的；‑ 使用计算机处理设备对所述测量结果集合M自动去卷积并将其空间分解成结果集合R={（Vk, Lk)}，其中空间变量V表示在以表面S为参考的相关联的离散深度水平Lk处的值Vk，由此，n和k是整数序列的成员，并且空间变量V表示样本的作为在其体积内的位置的函数的物理性质。