[发明专利]灰阶掩膜版及利用其形成的柱状隔垫物

摘要

本发明公开了一种灰阶掩膜版及利用其形成的柱状隔垫物，所述灰阶掩膜版包括透明衬底和形成于其上的遮光层，所述遮光层包括部分曝光区，所述部分曝光区包括多个透光孔，所述多个透光孔均匀分布；或所述部分曝光区包括曝光开口和位于曝光开口内的多个遮光区，所述多个遮光区均匀分布。利用其形成的柱状隔垫物，部分曝光区下形成的柱状隔垫物的上表面是凹凸不平的。本发明的灰阶掩膜版的成本比传统的灰阶掩膜版低，利用其形成的柱状隔垫物有利于防止薄膜晶体管阵列基板和彩色滤光片基板的相对位移，且为液晶层提供范围较大的液晶层上下限区间。

主权项

一种灰阶掩膜版，包括透明衬底和形成于其上的遮光层，其特征在于，所述遮光层包括部分曝光区，所述部分曝光区包括多个透光孔，所述多个透光孔均匀分布。