[发明专利]一种高分辨率的滚转角测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种高分辨率的滚转角测量装置，包括双频激光器、1/2波片、凸透镜、平面反射镜和角锥反射镜；所述双频激光器的光轴后设置有分光棱镜，所述分光棱镜的透射光轴上依次设置有1/4波片和五五分光镜；所述五五分光镜的透射光轴下方设置有角锥反射镜；所述1/2波片设置在角锥反射镜和凸透镜之间；本发明采用1/2波片作为滚转角测量的探测元件，其位于角锥反射镜和凸透镜之间，且与凸透镜后焦平面上的平面反射镜构成一个内部多次反射腔；通过1/2波片将其滚转角信息调制为偏振光相位变化，它将不仅可解决传统激光干涉法难以测量与激光束方向垂直平面内的滚转角问题，而且与现有滚转角测量方法相比，它具有高分辨率的优势。

主权项

一种高分辨率的滚转角测量装置，其特征在于：包括双频激光器（1）、1/2波片（7）、凸透镜（8）、平面反射镜（9）和角锥反射镜（10）；所述双频激光器（1）的光轴后设置有分光棱镜（2），所述分光棱镜（2）的透射光轴上依次设置有1/4波片（5）和五五分光镜（6）；所述分光棱镜（2）的反射光轴上依次设置有第一检偏器（3）和第一光电接收器（4）；所述五五分光镜（6）的透射光轴下方设置有角锥反射镜（10）；所述角锥反射镜（10）与凸透镜（8）相向设置，且凸透镜（8）光轴后焦平面上设置有平面反射镜（9）；所述1/2波片（7）设置在角锥反射镜（10）和凸透镜（8）之间；所述五五分光镜（6）的反射光轴上依次设置有第二检偏器（11）和第二光电接收器（12）；所述第一光电接收器（4）和第二光电接收器（12）的输出端连接有相位计（13），所述相位计（13）输出端连接有计算机（14）。