[发明专利]电编程金属熔丝器件结构在审
| 申请号： | 201210289607.7 | 申请日： | 2012-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN103633064A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 仲志华;祝奕琳 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 发明公开了一种电编程金属熔丝器件结构，包括：具有接触孔的金属层，连接在两金属层之间的金属熔丝，其中，所述金属熔丝具有至少一个蛇形折角，所述蛇形折角小于等于90度。本发明的电编程金属熔丝器件结构在不增加器件的尺寸的前提下，增加了至少一个蛇形折角。蛇形折角的作用不仅可以增加局部的电流密度，升高温度，还会对金属离子的迁移带来物理上的阻碍，使得一部分金属离子不能顺利通过蛇形折角部位产生堆积，蛇形折角部位之前的金属离子迁移耗尽，空位就聚集形成可见的空洞，器件发生断路（编程成功）。蛇形折角是发生电迁移断路的重点部位，通过增加器件蛇形折角结构，即能增加器件发生电迁移断路的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 编程 金属 器件 结构 | ||
【主权项】：
一种电编程金属熔丝器件结构，包括：具有接触孔的金属层，连接在两金属层之间的金属熔丝，其特征是：所述金属熔丝具有至少一个蛇形折角。
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