[发明专利]厚膜材料电子元器件及制备方法无效

专利信息
申请号: 201210290315.5 申请日: 2012-08-15
公开(公告)号: CN102842530A 公开(公告)日: 2012-12-26
发明(设计)人: 吴传贵;陈冲;彭强祥;曹家强;罗文博;帅垚;张万里;王小川 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L21/70 分类号: H01L21/70;H01L27/01
代理公司: 成都惠迪专利事务所 51215 代理人: 刘勋
地址: 610000 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 厚膜材料电子元器件,属于电子材料与元器件技术领域。本发明包括带有凹槽的衬底、阻挡层、底电极、热释电材料和上电极,在上电极和底电极之间,设置有隔离层,上电极跨越隔离层和隔离层下方的底电极,连接到热释电材料。本发明可以有效防止电极间的短路,使热释电厚膜探测器获得良好的性能,且提高了探测器的成品率。
搜索关键词: 材料 电子元器件 制备 方法
【主权项】:
厚膜材料电子元器件,包括带有凹槽的衬底[101]、阻挡层[102]、底电极[103]、热释电材料[104]和上电极[106],其特征在于,在上电极[106]和底电极[103]之间,设置有隔离层[105],上电极跨越隔离层[105]和隔离层[105]下方的底电极,连接到热释电材料[104]。
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