[发明专利]负型感光性树脂层压体、以及负型感光性树脂层压体的使用方法

摘要

本发明提供一种负型感光性树脂层压体，其为用于通过使用投影光掩模像的i射线单色光并隔着透镜对负型感光性树脂层进行曝光而形成抗蚀剂固化物的负型感光性树脂层压体，其至少具有支撑体(A)和i射线单色曝光用的负型感光性树脂层(B)，前述负型感光性树脂层(B)由i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物形成，所述i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物含有(a)羧基含量以酸当量计为100~600、且重均分子量在5000~500000之间的粘结剂用树脂20~90质量%、(b)可光聚合的不饱和化合物3~70质量%、以及(c)光聚合引发剂0.1~20质量%，并且，该负型感光性树脂层(B)在波长365nm下的透光率为25%以上36%以下。

主权项

一种负型感光性树脂层压体，其为用于通过使用投影光掩模像的i射线单色光并隔着透镜对负型感光性树脂层进行曝光而形成抗蚀剂固化物的负型感光性树脂层压体，其至少具有支撑体(A)和i射线单色曝光用的负型感光性树脂层(B)，前述负型感光性树脂层(B)由i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物形成，所述i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物含有：(a)羧基含量以酸当量计为100～600、且重均分子量在5000～500000之间的粘结剂用树脂20～90质量％、(b)可光聚合的不饱和化合物3～70质量％、以及(c)光聚合引发剂0.1～20质量％，并且，前述负型感光性树脂层(B)在波长365nm下的透光率为25％以上50％以下，膜厚为5～25μm，作为前述(c)光聚合引发剂，含有选自由二苯甲酮和二苯甲酮衍生物组成的组中的至少1种化合物、以及2,4,5‑三芳基咪唑二聚物这两者，并且该二苯甲酮和二苯甲酮衍生物的含量相对于前述负型感光性树脂层(B)总体为0.05～0.125质量％，前述(b)可光聚合的不饱和化合物选自由下述通式(I)表示的化合物和下述通式(II)表示的化合物组成的组：式中，R8和R9独立地为H或CH3，并且n2、n3和n4各自独立地为3～20的整数；式中，R10和R11独立地为H或CH3，A为C2H4，B为C3H6，n5+n6为2～30的整数，n7+n8为0～30的整数，n5和n6独立地为1～29的整数，n7和n8独立地为0～29的整数，重复单元‑(A‑O)‑和‑(B‑O)‑的排列任选无规或嵌段，在为嵌段的情况下，任一个都可以是双酚基团侧。